电子束量测重大进展，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备CD-SEM正式交

，据东方晶源发布，最近几天，东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备出机国内集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子自 2021 年 6 月首台 12 英寸 CD—SEM 出机后，东方晶源在电子束量测领域再次取得重大进展

东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测设备基于东方晶源 12 英寸关键尺寸量测设备的技术积累，面向 90nm 以上技术节点的成熟工艺具有对标 12 英寸主流设备的成像分辨率，百微米级大视场成像能力，多样化量测算法，可以满足客户对不同产品线，多种应用场景下的量测需求以关键尺寸量测设备为例，目前市场上流通的 8 英寸设备绝大多数是二手翻新设备，具有性能指标不高及设备稳定性差等问题东方晶源旨在解决些问题

公开信息显示，东方晶源是国内电子束检测，量测设备领先厂商，曾承担国家 02 重大专项 — 电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过，首台套电子束缺陷检测设备已完成产线验证并获得重复订单东方晶源在电子束检测，量测领域已填补多项国内空白目前该公司已经和国内大部分主要晶圆代工企业建立了合作关系

，荷兰光刻机巨头阿斯麦于当地时间2月9在2021年财报中宣称，中国企业东方晶源(DongFangJingYuanElectron，DFJY)正在中国积极销售可能(couldpotentially)侵犯该公司知识产权的产品。