清华大学等离子体刻蚀机采购项目公开招标，预算165万元

，3 月 29 日，清华大学发布了等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告。

该公告显示，清华大学现对等离子体刻蚀机采购项目进行国内公开招标，欲采购 1 套等离子体刻蚀机，采购预算为 165 万元。该软件适用于研究等离子体动理学复杂演化，目前主要用于研究高温Tokamak等离子体的边界湍流，不稳定性，输运，非线性波加热等问题。未来随着超级计算机算力达到10E级，模拟的分辨率将进一步提升，我们可以把研究扩展到更强磁场的Tokamak等离子体，探索强磁场中的反常输运，不稳定性等重要问题，研究燃烧等离子体科学中以前无法解决的新问题，描述等离子体放电从启动到终止的整个演化过程。

设备用途介绍 :

该等离子体刻蚀机用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆，从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。中国科大表示，与同类但传统的PIC模拟软件相比，SymPIC软件具有无可比拟的长期数值稳定性优势，克服了一直困扰传统PIC模拟软件中的数值自加热问题。。

简要技术指标 :

真空系统:分子泵抽速≥1300L / s，干泵抽速≥100m3 / h，

下电极:满足 8 英寸样品刻蚀需要，更小样品或碎片可贴片装载，

软件和控制系统:自主版权的软件，Windows 操作系统软件，

机台工艺能力:主要用于刻蚀薄膜铌酸锂材料，介质材料等。由于辛算法相关的研究非常前沿，并且我们使用了自主研发的领域专用语言及软件栈优化技术，国际上尚无同类的商业软件，只有少数研究组有自己的程序，但效率，可扩展性均无法与我们的程序相比。